TOPCon技術(shù)方案多樣，設(shè)備廠(chǎng)商各有側(cè)重。在PERC技術(shù)升級(jí)為T(mén)OPCon的核心3 大工藝步驟中（隧穿氧化層、多晶硅層、擴(kuò)散），多家廠(chǎng)商推出了各自的技術(shù)方案， 氧化層需要新增的設(shè)備主要是氧化爐、PECVD、PEALD，隧穿氧化層一般需要增加 LPCVD、PECVD，根據(jù)摻雜方案的不同，需要增加退火爐、擴(kuò)散爐或者離子注入機(jī)。

目前采用較多的為拉普拉斯的LPCVD方案，即隧穿氧化層用熱氧（氧化爐），多晶硅層用本征+磷擴(kuò)（LPCVD、擴(kuò)散爐），該方案技術(shù)成熟，但存在產(chǎn)能低、良率低等問(wèn)題，多晶硅層亦可用摻雜+退火（LPCVD、退火爐），繞鍍較易清理，但是存在鍍膜速率較慢、膜層均勻性等問(wèn)題。

捷佳偉創(chuàng)基于自身在PECVD方面的深厚積累，推出了三合一設(shè)備，實(shí)現(xiàn)了隧穿層、多晶硅層、原位摻雜層的制備，解決了傳統(tǒng)TOPCon電池生產(chǎn)過(guò)程中繞鍍、石英件高損耗的固有難點(diǎn)，而且新型PE-poly路線(xiàn)的原位摻雜時(shí)間僅為傳統(tǒng)LP路線(xiàn)的五分之一。

微導(dǎo)提出了基于PEALD的方案，隧穿氧化層采用基于PECVD的摻雜+退火方案，具有氧化層均勻性易控制，繞鍍輕微，鍍膜速率快，但是也有H含量較高，容易爆膜的問(wèn)題。

預(yù)計(jì)2022年光伏電池片設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模約254億元，其中TOPCon設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模約92億元。我們通過(guò)統(tǒng)計(jì)國(guó)內(nèi)新增電池片環(huán)節(jié)的新增產(chǎn)能，并對(duì)不同技術(shù)路線(xiàn)的在新增產(chǎn)能中的占比以及產(chǎn)線(xiàn)投入作出假設(shè)，得到2022-2025年的光伏設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模為 254/348/430/535億元，復(fù)合增長(zhǎng)率保持在20%左右。

（一）捷佳偉創(chuàng)：多路線(xiàn)布局，有望受益于行業(yè)擴(kuò)產(chǎn)進(jìn)程

捷佳偉創(chuàng)成立于2007年，是國(guó)內(nèi)領(lǐng)先的從事晶體硅太陽(yáng)能電池設(shè)備研發(fā)、生產(chǎn)和銷(xiāo) 售的國(guó)家高新技術(shù)企業(yè)。公司憑借自身的技術(shù)研發(fā)實(shí)力在太陽(yáng)能電池設(shè)備生產(chǎn)領(lǐng)域 行業(yè)地位突出。

公司的主要業(yè)務(wù)為晶體硅太陽(yáng)能電池設(shè)備研發(fā)、生產(chǎn)和銷(xiāo)售，主要產(chǎn)品包括PECVD 及擴(kuò)散爐等半導(dǎo)體摻雜沉積工藝光伏設(shè)備、清洗、刻蝕、制絨等濕法工藝光伏設(shè)備 以及自動(dòng)化（配套）設(shè)備、全自動(dòng)絲網(wǎng)印刷設(shè)備等晶體硅太陽(yáng)能電池生產(chǎn)工藝流程 中的主要及配套設(shè)備的研發(fā)、制造和銷(xiāo)售。

公司收入和凈利潤(rùn)穩(wěn)中有升。公司實(shí)現(xiàn)2020年收入40.44億元，同比增長(zhǎng)60%， 2021Q1-Q3季度實(shí)現(xiàn)37.45億元，同比增長(zhǎng)21.43%，2021年收入預(yù)計(jì)將保持增長(zhǎng)。公司2020年凈利率為12.93%，毛利率為26.43%，相較于2019年均出現(xiàn)下滑，2021 年Q1-Q3季度凈利率為16.01%，毛利率為25.70%，凈利率較2020年有所上升，毛利 率下滑速度趨緩。

根據(jù)公司在互動(dòng)易對(duì)投資者的答復(fù)，公司正加速第三代電池設(shè)備布局，管式PECVD 正在中試線(xiàn)上進(jìn)行量產(chǎn)定型的工藝調(diào)試階段，運(yùn)行情況均符合公司預(yù)期，并且還在 升級(jí)優(yōu)化，公司在光伏各技術(shù)路線(xiàn)及海外市場(chǎng)上的新簽訂單在不斷增加。（報(bào)告來(lái)源：未來(lái)智庫(kù)）

（二）邁為股份：國(guó)際 HJT 設(shè)備領(lǐng)先企業(yè)，率先受益于 HJT 擴(kuò)產(chǎn)進(jìn)程

邁為股份成立于2010年，是一家集機(jī)械設(shè)計(jì)、電氣研制、軟件算法開(kāi)發(fā)、精密制造 裝備于一體的高端智能裝備制造商。公司憑借多年來(lái)優(yōu)異的自主研發(fā)能力、產(chǎn)品質(zhì) 量與售后服務(wù)體系，打破了外國(guó)廠(chǎng)商在光伏絲網(wǎng)印刷設(shè)備領(lǐng)域的壟斷，成為全球光 伏絲網(wǎng)印刷設(shè)備的龍頭企業(yè)，實(shí)現(xiàn)了光伏絲網(wǎng)印刷制造設(shè)備領(lǐng)域的國(guó)產(chǎn)化替代。

邁為股份的主要業(yè)務(wù)為面向太陽(yáng)能光伏、顯示、半導(dǎo)體三大行業(yè)，研發(fā)、制造、銷(xiāo)售 智能化高端裝備，主要產(chǎn)品包括全自動(dòng)太陽(yáng)能電池絲網(wǎng)印刷生產(chǎn)線(xiàn)、異質(zhì)結(jié)高效電 池制造整體解決方案、OLED柔性屏激光切割設(shè)備、Mini/Micro LED晶圓設(shè)備、半導(dǎo) 體晶圓封裝設(shè)備等。

公司收入和凈利潤(rùn)穩(wěn)中有升，凈利率和毛利率持續(xù)回升，盈利能力強(qiáng)。公司實(shí)現(xiàn)2020 年收入22.85億元，同比增長(zhǎng)59%，2021Q1-Q3季度實(shí)現(xiàn)21.85億元，同比增長(zhǎng)35%， 2021年收入預(yù)計(jì)將保持較高增長(zhǎng)。公司2020年凈利率為17.25%，毛利率為34.02%， 2021年前三季度凈利率為20.39%，毛利率為38.41%，凈利率與毛利率持續(xù)上升，盈 利能力較強(qiáng)。

（三）帝爾激光：光伏激光設(shè)備龍頭，技術(shù)持續(xù)突破

帝爾激光成立于2008年，是一家研發(fā)精密激光加工配套設(shè)備,提供相應(yīng)解決方案設(shè)計(jì) 的國(guó)家級(jí)高新技術(shù)企業(yè)。公司在微納級(jí)激光精密加工領(lǐng)域深耕多年，在高效太陽(yáng)能 電池路線(xiàn)領(lǐng)域，PERC激光消融設(shè)備、SE激光摻雜設(shè)備，技術(shù)水平處于行業(yè)前列， 是行業(yè)內(nèi)少數(shù)能夠提供高效太陽(yáng)能電池激光加工綜合解決方案的企業(yè)。

公司主營(yíng)業(yè)務(wù)為精密激光加工解決方案的設(shè)計(jì)及其配套設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷(xiāo)售。公司主要產(chǎn)品為應(yīng)用于光伏產(chǎn)業(yè)的精密激光加工設(shè)備，目前的主要產(chǎn)品包括PERC 激光消融設(shè)備、SE激光摻雜設(shè)備、MWT系列激光設(shè)備、全自動(dòng)高速激光劃片/裂片 機(jī)、LID/R激光修復(fù)設(shè)備、激光擴(kuò)硼設(shè)備等激光設(shè)備。

近來(lái)公司在激光轉(zhuǎn)印等領(lǐng)域持續(xù)突破，已覆蓋了高效太陽(yáng)能電池的PERC、MWT、SE、LID/R等多個(gè)工藝環(huán)節(jié)，PERC、IBC、SE、LID/R等工藝可在高效太陽(yáng)能電池生產(chǎn)過(guò)程中疊加。

公司收入和凈利潤(rùn)穩(wěn)步上升，凈利率和毛利率緩慢下滑但仍維持高位。公司實(shí)現(xiàn)2020 年收入10.72億元，同比增長(zhǎng)53%，2021Q1-Q3季度實(shí)現(xiàn)9.35億元，同比增長(zhǎng)31%。公司2020年凈利率為34.79%，毛利率為46.54%，2021年前三季度凈利率為30.12%， 毛利率為44.62%，凈利率與毛利率有所下滑，但整體盈利能力仍較強(qiáng)。

來(lái)源：廣發(fā)證券，未來(lái)智庫(kù)